腾博会官网上海進軍PECVD市場，支持邏輯和存儲晶片製造
2022-12-13 15:23:53
腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱“腾博会官网上海”)（科創板股票代碼：688082），作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝應用给予晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，今天宣佈推出擁有自主知識產權的Ultra Pmax等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備，拓展了一個重要的全新產品分類。腾博会官网上海預計將在幾周內向中國的一家集成電路客戶交付其首台PECVD設備。
腾博会官网上海行政總裁王堅表示：“Ultra Pmax PECVD設備的推出，標誌着腾博会官网在前道半導體應用中進一步擴展到了全新的工藝領域。腾博会官网有很多客戶是28納米及以上的邏輯器件供應商。腾博会官网預測到了成熟工藝節點產能的增加，因為中國市場的成熟工藝節點產能明顯供不應求。這款PECVD設備，使腾博会官网上海在滿足全球先進邏輯和存儲晶片市場需求的同時，也將更好地服務於全球客戶。腾博会官网預測，這次推出的PECVD設備，及上個月發佈的前道塗膠顯影設備Ultra Lith，這兩個全新的產品系列將使腾博会官网全球可服務市場規模翻倍增加。”
Ultra Pmax PECVD設備配置了自主知識產權的腔體、氣體分配裝置和卡盤設計，能夠给予更好的薄膜均勻性，更小的薄膜應力和更少的顆粒特性。該設備採用單腔體模塊化設計，有兩種配置：一種是可以配置一至三腔體模塊，適合極薄膜層或快速工藝步驟；另一種是可以配置四至五腔體模塊，在優化產能的同時，支持厚膜沉積以及更長的工藝時間。以上兩種配置中，每個腔體都安裝有多個加熱卡盤，以優化工藝控制並提高產能。
