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ACM成立於矽谷
成立上海公司
SK Hynix開始評估
在50nm下提高良率 主要SAPS訂單源於SK Hynix
YMTC,SMIC,和HLMC的SAPS訂單 TEBO經3D晶圖驗證
啟動納斯達克上市計劃
TEBO 裝機至 HLMC 11月3日IPO上市
R&D 中心在韓國建立 Tahoe評估P.O.
2018年收入5.50億元比2017年增長117%出貨量6.36億元淨利潤0.93億元 第二工廠擴充產能
腾博会官网臨港項目啟動改制成股份公司 2019年收入7.57億元比2018年增長37.5%出貨量8億元淨利潤1.35億元
腾博会官网臨港研發與製造中心奠基及開工 獲得首台立式爐和刷洗機訂單 發佈18腔單片清洗設備、半關鍵系列清洗設備
發佈高速銅電鍍技術、邊緣濕法刻蝕設備、單片高溫硫酸設備；11月18日，科創版上市
腾博会官网上海推出新型化合物半導體設備系列、ALD立式爐、Track、PECVD等設備；完成出貨500電鍍腔及3000濕法清洗腔體的成就；前道銅互連電鍍設備榮獲第五屆“集成電路產業技術創新獎”。
腾博会官网上海臨港研發與製造中心封頂；入選國家級第五批專精特新“小巨人”企業名單。
