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2007

成長潛力獎

張江高科技園區

2008

工博會創新獎-12英寸65納米單片晶圓清洗設備

中國國際工業博覽會組委會

2009

發明專利證書

專利號:ZL 2009 1 0050834.2

2010

中國半導體創新產品和技術

中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社

年度優秀創業者

2011

優秀參展產品獎-無應力拋銅

中國半導體行業協會 、中國國際貿易促進委員會 、上海集成電路行業協會

優秀創業企業

突出貢獻企業

上海市張江高新技術產業開發區管理委員會 、上海市人力資源和社會保障局 、上海市公務員局

2012

優秀參展金獎

中國半導體行業協會 、中國國際貿易促進委員會 、上海集成電路行業協會

2013

創業大賽優勝企業

創業大賽組委會 、上海市科技創業中心 、上海市大學生科技創業基金會

科學技術獎二等獎-單片晶圓清洗設備研發與應用

上海市浦東新區人民政府

工博會銅獎-兆聲波單片清洗設備

中國國際工業博覽會組委會

國家高新區百新企業

中國高新技術產業導報 、中國高新技術產業開發區協會 、中國高新區研究中心

2014

發明專利證書

專利號:ZL 2014 8 0079603.3

2015

發明專利證書

專利號:ZL 2015 8 0080188.8

2016

新製程快速量產

中芯

2015年中國半導體設備十強單位

中國電子專用設備工業協會

感謝牌

海力士

2017

科學技術獎三等獎-單片晶圓塗膠設備研發與應用

上海市浦東新區人民政府

上海市專利工作試點企業

上海市知識產權局

微信年度企業

2016年中國半導體設備行業十強

中國電子專用設備工業協會

2018

2017年中國半導體設備十強單位

中國電子專用設備工業協會

中國半導體創新產品和技術獎-先進封裝電鍍設備

中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社

中國半導體創新產品和技術獎-TEBO

中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社

創新獎-兆聲波單片清洗機

集成電路產業技術創新戰略聯盟

2019

2018年度優秀供應商

華力

2018年中國半導體設備五強企業

中國半導體行業協會

最佳成果獎

SK海力士

2019年卓越影響力上市企業

張江科投企業年度交流會

傑出企業

久友基金

華虹集團2019年供應商大會感謝牌

華虹集團

科技創新獎

中國國際工業博覽會組委會

2018年中國半導體設備十強單位

中國電子專用設備工業協會

2018年度上海市集成電路設備業銷售前十名

上海市集成電路行業協會

2020

2019年度最具潛力供應商

華力半導體

開放創新合作獎

華虹集團

中國半導體創新產品和技術獎-Tahoe

中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社

上海市集成電路先進濕法工藝設備重點實驗室

上海市科學技術委員會

2019年度中國半導體設備五強企業

中國半導體行業協會

2019年度上海集成電路行業設備業前十名

上海市集成電路行業協會

上海市科學技術獎一等獎

上海市人民政府

優秀創新獎

SMIC 、SMNC國產設備評審委員會

感謝牌

海力士無錫CNC技術全體成員

2021

上海職工勞動和技能競賽二等獎

上海市總工會

2020-2021年度上海設計100+入圍作品

上海設計100+組委會

上海市集成電路設備業銷售前十名

行業傑出貢獻獎

高新技術企業證書

上海市科學技術委員會 、上海市財政局 、國家稅務總局上海市稅務局

2022

上海市集成電路外資企業半導體設備業銷售前五名

上海市集成電路行業協會

成果產業化獎

第五屆「IC創新獎」

2023

上海市企業技術中心

上海市經濟和信息化委員會 、國家稅務總局上海市稅務局 、上海市財政局 、上海海關

進門財經

2022年最佳機構覆蓋IR團隊

2022年度公益慈善獎

中共浦東新區川沙鎮委員會 、浦東新區川沙新鎮人民政府

TBB上海製造業品牌價值榜/SFEO上海企業品牌成長榜

上海市工業經濟聯合會 、上海市經濟團體聯合會 、上海市商業聯合會

2022年度上海市集成電路內資半導體設備業銷售前五名

上海市集成電路行業協會

專精特新「小巨人」企業

工業和信息化部

臨港集團園區領軍之星

臨港集團

2023電子信息年度十大創新技術(SAPS)

中國電子商會 、數字經濟觀察網

2024

2023年度企業社會公益獎

上海浦東川沙經濟園區有限公司

2023年度浦東新區經濟突出貢獻獎

上海市浦東新區人民政府

2023年度上海市集成電路設備業(內資)銷售前五名

上海市集成電路行業協會