腾博会官网上海進軍塗膠/顯影Track市場，以滿足半導體集成電路製造商的光刻工藝需求
2022-11-18 12:56:35
腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱“腾博会官网上海”)（科創板股票代碼：688082），作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝應用给予晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，今日成功推出塗膠顯影Track設備，標誌着該公司已正式進軍塗膠顯影Track市場，這也是該公司提升其在清洗、塗膠和顯影領域內專業技術的必然結果。腾博会官网上海於2013年開發了公司首個封裝塗膠機和顯影機，並於2014年交付了給客戶。腾博会官网上海將於幾周後向中國國內客戶交付公司首台ArF工藝塗膠顯影Track設備，並將於2023年推出i-line型號設備。此外，公司已開始着手研發KrF型號設備。
“我榮幸地宣佈，腾博会官网上海已正式進軍Track市場，這將成為腾博会官网的又一大新產品品類。Gartner1數據顯示，2022年全球Track市場規模將達37億美元，這是腾博会官网上海开展的新契機。得益於腾博会官网上海在軟件和機械手技術方面的核心競爭力，加之塗膠顯影設備的優良性能以及具有全球專利申請保護的全新架構，腾博会官网可以憑藉競爭性產品及服務成功進軍Track市場，這也標誌着腾博会官网在滿足當前及未來前道光刻工藝需求中邁出了關鍵的第一步。鑒於全球邏輯及存儲器製造商正在尋求第二供應商，腾博会官网相信這款全新產品會有巨大的需求潛力，”腾博会官网上海董事長王暉博士表示。
腾博会官网上海塗膠顯影Track設備是一款應用於300毫米晶圓工藝的設備，可给予均勻的下降氣流、高速穩定的機械手處理以及強大的軟件系統，從而滿足客戶特定需求。該設備功能多樣，能夠降低產品缺陷率，提高產能，節約總體擁有成本（COO）。塗膠顯影Track設備將支持包括i-line、KrF和ArF系統在內的各種光刻工藝。
塗膠顯影Track設備支持光刻工藝，可確保滿足工藝要求，同時讓晶圓在光刻設備中曝光前後的塗膠和顯影步驟得到優化。該設備專為300毫米晶圓而設計，共有4個適用於12英寸晶圓的裝載口，8個塗膠腔體、8個顯影腔體。該設備腔體溫度可精準控制在23°C ±0.1°C ，烘烤範圍為50°C至250°C，晶圓破損率低於1/50,000 。此外，全球專利申請保護的全新結構設計還可拓展支持12個塗膠腔體及12個顯影腔體，每小時晶圓產能可達300片，將來在配備更多的塗膠和顯影腔體的條件下還能達到每小時400片以上的產能。
數據來源：
1. Forecast: Semiconductor Capital Spending, Wafer Fab Equipment and Capacity, Worldwide, 3Q22 Update
