腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱“腾博会官网上海”)（科創板股票代碼：688082），作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝應用提供晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，今宣佈公司首次獲得Ultra C SiC 碳化矽襯底清洗設備的採購訂單。該平台還可配置腾博会官网上海自主研發的空間交變相位移（SAPS）清洗技術，在不損傷器件的前提下實現更全面的清洗。該訂單來自中國領先的碳化矽襯底製造商，預計將在2023年第三季度末發貨。
腾博会官网上海的該Ultra C SiC 碳化矽襯底清洗設備使用SC1（氨水/雙氧水混合藥液）、SC2（鹽酸/雙氧水混合藥液）、DHF（稀氫氟酸）及其他化學進行清洗工藝，並可選配公司自主研發的Smart Megasonix技術進一步優化清洗效果。該設備兼容6英寸和8英寸，每小時可達70多片晶圓的產能，而且已進行了升級優化，可避免薄且易碎的碳化矽襯底的碎片。
