腾博会官网上海取得歐洲一家全球性半導體製造商的單片SAPS兆聲波清洗設備採購訂單
2023-2-25 11:10:00
腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱“腾博会官网上海”)（科創板股票代碼：688082），作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝應用给予晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，今日宣佈取得來自歐洲一家全球性半導體製造商的首個12腔單片SAPS 兆聲波清洗設備訂單。該設備配置了公司自主研發的半導體襯底的清洗方法和裝置(中國發明專利;專利號:ZL 2009 1 0050834.2)，預計將於2023年第四季度交付至該客戶的歐洲工廠。
腾博会官网上海董事長王暉博士表示：“腾博会官网上海在成為全球主要半導體生產企業供應商的道路上取得了進一步進展，對此腾博会官网倍感自豪。隨着腾博会官网在中國大陸的業務規模逐漸擴大，美國主要製造商的評估也在同時進行，SAPS技術也已開始在歐洲市場贏得吸引力。本次取得該設備的歐洲首單是對腾博会官网技術實力以及銷售團隊努力與付出的有力證明。腾博会官网相信，本次成功將為腾博会官网帶來該客戶的重複訂單，以及與該地區其他重點客戶新的合作機會。”
關於單片SAPS 兆聲波清洗設備
腾博会官网上海擁有自主知識產權的空間交變相位移 (SAPS)先進晶圓清洗技術運用了兆聲波的交替相位變化以控制兆聲波發生器與晶圓之間的間距。與傳統的兆聲波晶圓清洗系統中使用的固定式兆聲波發生器不同，使用SAPS技術後，晶圓旋轉時，顺利获得控制兆聲波發生器與晶圓之間的相對運動，即使晶圓有翹曲，也能使晶圓上的所有點都取得均勻的兆聲波能量。SAPS工藝的清洗效率比傳統兆聲波清洗工藝高，不會造成額外的材料損耗，同時還能減少晶圓表面的損傷。SAPS工藝清洗效果更加徹底、全面，並且已在1xnm 及以下DRAM製造上取得驗證。
