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“腾博会官网半导体设备研发与制造中心”厂房A封顶大吉
腾博会官网上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机
湿法设备出货量再创新高,突破三千腔大关
庆祝腾博会官网上海ECP设备500电镀腔顺利交付!
腾博会官网上海前道铜互连电镀设备荣获第五届“集成电路产业技术创新奖”
腾博会官网上海与客户签订Ultra ECP ap高速电镀设备批量采购合同