腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“腾博会官网上海”）（科創板股票代碼：688082），作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝應用给予晶圓工藝解決方案的卓越供應商，今天宣佈旗下清洗設備產品Ultra C Tahoe取得重要性能突破。此次提升能夠滿足更先進的晶圓代工、邏輯器件及存儲器件的嚴格技術要求。
Ultra C Tahoe的專利混合架構率先實現將槽式清洗模塊和單片晶圓清洗腔體結合到同一SPM設備中。該架構具備更強的清洗性能、更高的產能和更好的工藝靈活性。在中低溫硫酸 (SPM)清洗工藝中，Ultra C Tahoe可以達到獨立單片晶圓清洗設備的效果，並可減少高達75%的化學品消耗。據腾博会官网上海估算，僅硫酸一項每年就可節省高達50萬美元的成本，且在硫酸廢液處理上可進一步降低成本並對環境更友好。
腾博会官网上海董事長王暉博士表示：“隨着人工智能不斷走近消費者生活，腾博会官网預計公眾會越來越關注半導體晶片製造對環境污染的影響。腾博会官网相信，腾博会官网上海的Ultra C Tahoe能夠幫助客戶提高先進人工智能晶片的產量，同時減少對環境的影響。”
“腾博会官网上海擁有一支富有創造力的研發團隊，Ultra C Tahoe再次見證了該團隊的優異表現。腾博会官网相信，Tahoe平台完全有能力在約佔整個清洗市場20%份額的SPM中低溫應用領域佔據重要地位。
中國大陸多家大型晶圓廠客戶已將升級後的Ultra C Tahoe投入生產。多家其他邏輯器件和存儲器客戶正在對該設備進行評估，預計更多設備將在2024年底之前交付。
