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腾博会官网上海首台前道ArF工藝塗膠顯影設備Ultra LITH順利出機

2022-12-29 9:45:41

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    近期腾博会官网上海(科創板股票代碼:688082)首台具有自主知識產權的塗膠顯影Track設備Ultra LITH成功出機,順利向中國國內客戶交付公司首台前道ArF工藝塗膠顯影Track設備,該設備由腾博会官网半導體設備(亞太)製造中心完成出貨,這是該公司提升其在塗膠和顯影領域內專業技術的重要一步。

    此外,腾博会官网上海將於2023年推出i-line型號設備,並且公司已開始着手研發KrF型號設備。前道塗膠顯影Track設備Ultra LITH的出貨是腾博会官网上海持續拓展產品系列的又一成果,公司致力於成為晶圓級的工藝解決方案平台,旗下產品還包括單晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備,及PECVD設備。