腾博会官网上海推出新型熱原子層沉積立式爐設備， 以滿足高端半導體的生產需求
2022-9-28 9:21:11
腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱“腾博会官网上海”)（科創板股票代碼：688082），作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝應用给予晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，於今日宣佈其對300mm Ultra Fn立式爐干法工藝平台進行了功能擴展，研發出新型Ultra Fn A立式爐設備。該設備的熱原子層沉積（ALD）功能豐富了腾博会官网上海立式爐系列設備的應用。公司還宣佈，首台Ultra Fn A立式爐設備已於本月底運往中國一家先進的邏輯製造商，並計劃於2023年底顺利获得驗證。
腾博会官网上海的董事長王暉表示：“隨着邏輯節點的不斷縮小，越來越多的客戶為滿足其先進的工藝要求，努力尋找願意合作的供應商共同開發。ALD是先進節點製造中增長最快的應用之一，是本公司立式爐管系列設備的關鍵性新性能。得益於對整個半導體製造工藝的深刻理解和創新能力，腾博会官网能夠迅速開發全新的濕法和干法設備，以滿足新興市場的需求。全新ALD立式爐設備基於公司現有的立式爐設備平台，搭載差異化創新設計，軟件算法優化等實現原子層吸附和均勻沉積。”
腾博会官网上海新型熱ALD設備可沉積氮化矽（SiN）和碳氮化矽（SiCN）薄膜。公司出廠的首台Ultra Fn A設備將用於28納米邏輯製造流程，以製造側壁間隔層。此工藝要求刻蝕速率極低，且台階覆蓋率良好，與其他實現模式相比，Ultra Fn A立式爐設備在模擬中實現了均一性的改善。
腾博会官网上海Ultra Fn A設備以Ultra Fn立式爐設備平台的成功為基礎，能滿足原子層沉積工藝的同時具備低累積膜厚氣體清洗功能，保證顆粒的穩定性。Ultra Fn A立式爐設備聚焦核心技術研發，力求滿足高產能批式ALD工藝的高端要求。可顺利获得簡單改變 微小的組件和細微的佈局對設備進行個性化定製，這使得新型ALD工藝的開發得以迅速提升。其創新設計還巧妙融合了腾博会官网上海成熟的軟件技術、可提高耐用性和可靠性的新硬件以及腾博会官网上海自主研發專利工藝控制IP，以實現快速而穩定的工藝控制。
