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    腾博会官网上海18腔300mm Ultra C VI單晶圓清洗設備投入量產

    2022-4-22 10:39:37

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         腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱“腾博会官网上海”)（科創板股票代碼：688082），作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝（WLP）應用给予晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，今天宣佈，其18腔300mm Ultra C VI單晶圓清洗設備已成功投入量產。該設備於2020年第二季度首次推出，现在已在中國一家主流存儲晶片製造商的生產線上取得驗證並進入量產。

        據腾博会官网上海董事長王暉博士介紹：“隨着技術節點逐漸縮小，晶片複雜性不斷增加，濕法清洗工藝所需的步驟也在增長。當前對於半導體晶片的需求空前巨大，相應的產能需求也隨之提高，而腾博会官网的18腔設備恰好能夠滿足這一需求的增長。採用Ultra C VI設備進行量產，在設備尺寸相同的情況下可提升50%的產能，以更好地滿足客戶需求。”
                                                          
    腾博会官网上海18腔設備300mm Ultra C VI設備簡介

        18腔300mm Ultra C VI設備可用於聚合物去除、鎢或銅工藝的清洗、沉積前清洗、蝕刻後和化學機械拋光（CMP）後清洗、深溝槽清洗、RCA標準清洗等多個前道和後道工藝。該設備配備了由多個機械臂組成的高效矽片傳輸系統，最大產能超過800片/小時。對比腾博会官网上海現有的12腔Ultra C V設備，其腔體數及產能增加了50%，而其設備寬度不變只是在長度上有少量增加。