腾博会官网上海獲多台Ultra ECP map及Ultra ECP ap電鍍設備訂單
2022-2-18 14:45:36
腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱腾博会官网上海)（科創板股票代碼：688082），一家為半導體前道和先進晶圓級封裝（WLP）應用给予晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，於今日宣佈取得了13台Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備及8台Ultra ECP ap後道先進封裝電鍍設備的多個採購訂單，其中10台設備訂單為一家中國主流集成電路製造廠商的追加訂單。這份訂單也是該公司ECP map電鍍系統的第一筆批量採購訂單。經客戶認證，應用於65nm~28nm工藝的Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備性能已滿足甚至超過其要求，因此客戶為其生產線訂購了大量該設備。
腾博会官网上海董事長王暉博士表示：“很高興地宣佈腾博会官网取得了 ECP map電鍍設備的第一份批量訂單，這份訂單連同最近宣佈取得的槽式清洗設備的批量訂單，體現了腾博会官网上海在各工藝技術領域的卓越表現，也突顯了腾博会官网滿足客戶需求的能力。腾博会官网相信，腾博会官网上海使用高性能設備不斷拓寬設備產品組合的策略還將帶來更多訂單。”
腾博会官网上海Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備建立在公司成熟的電化學電鍍（ECP）技術基礎之上，該設備專為雙大馬士革應用而設計，可提高產能和可靠性。ECP電鍍系統配置了腾博会官网上海自創的多陽極局部電鍍功能，讓客戶可對大馬士革結構上的金屬銅沉積層進行有效控制。該設備的關鍵工藝優點包括優異的圖形結構填充能力、良好的片內及片間金屬膜厚均勻性，能夠兼容5nm以下的超薄籽晶層，滿足先進技術節點的大馬士革電鍍的需求，同時降低耗材及擁有成本，確保高產能和正常運行時間。
腾博会官网上海的Ultra ECP ap電鍍設備可執行許多關鍵的WLP電鍍工藝，包括銅凸塊和高密度扇出（HDFO）工藝。該系統藉助專門設計的工藝腔及流體供給系統，可保持強大穩定的流量輸出，實現快速均勻的電鍍。單晶圓水平式電鍍設計也排除了垂直式電鍍設計存在的不同鍍液槽之間的交叉污染問題。該設備在銅、鎳、錫、銀和金電鍍過程中擁有出色表現。
