“腾博会官网的單片SPM設備是在腾博会官网的Ultra C Tahoe設備基礎上而開發。腾博会官网Tahoe設備的優越性能已得到驗證，可解決大部分常規溫度的SPM工藝步驟。”腾博会官网半導體設備董事長王暉表示：“腾博会官网開發的單片SPM設備，對Tahoe設備已被驗證的工藝能力做了進一步補充，增加了高溫SPM工藝能力，也進一步豐富了腾博会官网的濕法產品系列。腾博会官网以成為全球主要的清洗解決方案供應商為目標，會繼續開發新的工藝能力，包括先進的高溫IPA乾燥技術和超臨界二氧化碳乾燥技術。”
现在大部分SPM濕法工藝中硫酸與雙氧水混合後的工藝溫度在145攝氏度以下，被廣泛應用於光刻膠去除，刻蝕後、常規劑量離子注入後、化學機械拋光（CMP）後的清洗工藝。腾博会官网的Ultra C Tahoe系統已於2018年發佈，將槽式硫酸與單片清洗整合在一套系統中，針對處理上述這些工藝，其優越的性能已取得了業界的認可，在得到更好的清洗效果的同時，因為大幅減少了硫酸的用量，成本也得以大幅降低。
