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2020-4-3 14:20:07
先進半導體設備領域的卓越晶圓清洗設備供應商——腾博会官网半導體設備（納斯達克：ACMR），本周發佈了立式爐設備（Ultra Furnace）——公司首台為多種干法工藝應用開發的系統。公司研發的首台立式爐設備優化後可實現高性能低壓化學氣相沉積（LPCVD），同時該設備平台還可延伸至氧化和退火，以及原子層沉積(ALD)等應用。此次的立式爐設備也展現了腾博会官网中國和韓國研發團隊為時兩年的合作成果。
“先進技術節點帶來了持續的挑戰，這就要求設備供應商進行創新，而這種市場環境給腾博会官网给予了重要的機會。” 腾博会官网半導體設備董事長王暉表示：“不斷創新是腾博会官网的DNA。腾博会官网發現了一個可以從腾博会官网的技術中獲益的市場需求，腾博会官网就將腾博会官网的技術延伸至該新細分市場，在腾博会官网已建立的濕法工藝產品系列上增加了Ultra Furnace立式爐產品系列，顺利获得為客戶的先進產品给予整體解決方案，同時也增加了腾博会官网的市場機遇。”
“Ultra Furnace立式爐產品是由腾博会官网中韓兩國的專家團隊合作開發差異化技術的成果。”腾博会官网半導體韓國公司行政總裁金泳律說：“腾博会官网韓國團隊的创建讓腾博会官网優秀的上海團隊如虎添翼，加快了腾博会官网進軍市場的速度，並為本土客戶给予出色的技術支持。”
沉積工藝是指，在高溫下化學氣體在晶圓表面上反應形成氧化矽或者氮化矽膜層。Ultra Furnace立式爐系統可用於批量處理多至100片12英寸（300毫米）晶圓。創新的系統設計使用了新開發的硬件，提高了耐用性，同時搭載了腾博会官网成熟的軟件技術、自研的控制系統和算法。這些特點保證了設備能穩定地控制製程壓力、氣體流量和溫度。
现在腾博会官网Ultra Furnace立式爐主要面向LPCVD工藝市場，後續只需對其組件和佈局進行一些局部變更，就可滿足其它目標應用需求。85%左右的硬件配置可保持不變，所以面向新應用的變動可有效地實現。
腾博会官网半導體Ultra Furnace立式爐目標市場以中國大陸為起點，逐步向韓國和中國台灣市場推進。腾博会官网已於2020年初，向中國一家重要的邏輯客戶的製造工廠交付了公司產研的第一台Ultra Furnace。該設備用於LPCVD，现在已經在客戶端安裝並進行驗證。
